នៅក្នុងបន្ទះបោះពុម្ពរឹង - flex ដោយសារតែការស្អិតជាប់មិនល្អនៃថ្នាំកូតនៅលើជញ្ជាំងរន្ធ (ខ្សែភាពយន្តកៅស៊ូសុទ្ធនិងសន្លឹកភ្ជាប់) វាងាយស្រួលក្នុងការធ្វើឱ្យថ្នាំកូតបំបែកចេញពីជញ្ជាំងរន្ធនៅពេលដែលទទួលរងការឆក់កម្ដៅ។ផងដែរតម្រូវឱ្យមានការសម្រាកប្រហែល 20 μmដូច្នេះចិញ្ចៀនស្ពាន់ខាងក្នុងនិងទង់ដែងអេឡិចត្រូតស្ថិតនៅក្នុងទំនាក់ទំនងបីចំណុចដែលអាចទុកចិត្តបានបន្ថែមទៀតដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពធន់ទ្រាំនឹងការឆក់កម្ដៅនៃរន្ធលោហៈ។Capel ខាងក្រោមនឹងនិយាយអំពីវាយ៉ាងលម្អិតសម្រាប់អ្នក។ជំហានបីសម្រាប់ការសម្អាតរន្ធបន្ទាប់ពីខួងបន្ទះរឹង - flex ។
ចំណេះដឹងនៃការសម្អាតខាងក្នុងរន្ធ បន្ទាប់ពីខួងសៀគ្វី flex រឹង៖
ដោយសារ polyimide មិនមានភាពធន់ទ្រាំទៅនឹងអាល់កាឡាំងដ៏រឹងមាំនោះ desmear ប៉ូតាស្យូម permanganate អាល់កាឡាំងដ៏រឹងមាំសាមញ្ញគឺមិនស័ក្តិសមសម្រាប់បន្ទះបោះពុម្ពដែលអាចបត់បែនបាន និងរឹង។ជាទូទៅ ភាពកខ្វក់នៃការខួងនៅលើក្តារទន់ និងរឹង គួរតែត្រូវបានសម្អាតដោយដំណើរការសម្អាតប្លាស្មា ដែលបែងចែកជាបីជំហាន៖
(1) បន្ទាប់ពីបែហោងធ្មែញឧបករណ៍ឈានដល់កម្រិតជាក់លាក់មួយនៃការខ្វះចន្លោះ អាសូតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងអុកស៊ីសែនដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ត្រូវបានចាក់ចូលទៅក្នុងវាតាមសមាមាត្រ មុខងារសំខាន់គឺសម្អាតជញ្ជាំងរន្ធ កំដៅបន្ទះបោះពុម្ពជាមុន និងធ្វើឱ្យវត្ថុធាតុ polymer មានសកម្មភាពជាក់លាក់មួយ ដែលមានប្រយោជន៍ ដំណើរការជាបន្តបន្ទាប់។ជាទូទៅវាគឺ 80 អង្សាសេហើយពេលវេលាគឺ 10 នាទី។
(2) CF4, O2 និង Nz ប្រតិកម្មជាមួយជ័រដែលជាឧស្ម័នដើមដើម្បីសម្រេចបាននូវគោលបំណងនៃការបន្សាបជាតិពុល និងច្រេះត្រឡប់មកវិញ ជាទូទៅនៅសីតុណ្ហភាព 85 អង្សាសេ និងរយៈពេល 35 នាទី។
(3) O2 ត្រូវបានប្រើជាឧស្ម័នដើមដើម្បីយកសំណល់ឬ "ធូលី" ដែលបង្កើតឡើងក្នុងអំឡុងពេលពីរជំហានដំបូងនៃការព្យាបាល។សម្អាតជញ្ជាំងរន្ធ។
ប៉ុន្តែវាគួរអោយកត់សម្គាល់ថានៅពេលដែលប្លាស្មាត្រូវបានប្រើដើម្បីយកភាពកខ្វក់នៃការខួងចូលទៅក្នុងរន្ធនៃពហុស្រទាប់ដែលអាចបត់បែនបាននិងរឹង - អាចបត់បែនបាននោះល្បឿន etching នៃសម្ភារៈផ្សេងៗគឺខុសគ្នាហើយលំដាប់ពីធំទៅតូចគឺ: ខ្សែភាពយន្ត acrylic ។ , ជ័រអេផូស៊ី , ប៉ូលីមីត , សរសៃកញ្ចក់ និងទង់ដែង។ក្បាលសរសៃកញ្ចក់ដែលលាតសន្ធឹង និងចិញ្ចៀនទង់ដែងអាចមើលឃើញយ៉ាងច្បាស់នៅលើជញ្ជាំងរន្ធពីមីក្រូទស្សន៍។
ដើម្បីធានាថា សូលុយស្យុងស្ពាន់គ្មានអេឡិចត្រូលីត្រអាចទាក់ទងជញ្ជាំងរន្ធបានពេញលេញ ដូច្នេះស្រទាប់ទង់ដែងមិនបង្កើតជាមោឃៈ និងមោឃៈ សំណល់នៃប្រតិកម្មប្លាស្មា សរសៃកញ្ចក់ដែលលេចចេញ និងខ្សែភាពយន្តប៉ូលីមីតនៅលើជញ្ជាំងរន្ធត្រូវតែមាន។ ដកចេញ។វិធីសាស្រ្តនៃការព្យាបាលរួមមានវិធីសាស្រ្តគីមីនិងមេកានិចឬការរួមបញ្ចូលគ្នានៃទាំងពីរ។វិធីសាស្ត្រគីមីគឺត្រូវត្រាំបន្ទះបោះពុម្ពជាមួយនឹងដំណោះស្រាយអាម៉ូញ៉ូមអ៊ីដ្រូសែនហ្វ្លុយអូរីត ហើយបន្ទាប់មកប្រើសារធាតុ surfactant អ៊ីយ៉ុង (ដំណោះស្រាយ KOH) ដើម្បីកែតម្រូវបន្ទុកនៃជញ្ជាំងរន្ធ។
វិធីសាស្រ្តមេកានិក រួមមានការបូមខ្សាច់សើមដែលមានសម្ពាធខ្ពស់ និងការលាងទឹកដោយសម្ពាធខ្ពស់។ការរួមបញ្ចូលគ្នានៃវិធីសាស្រ្តគីមីនិងមេកានិចមានឥទ្ធិពលល្អបំផុត។របាយការណ៍ metallographic បង្ហាញថាស្ថានភាពនៃជញ្ជាំងរន្ធ metallized បន្ទាប់ពីការ decontamination ប្លាស្មាគឺពេញចិត្ត។
ខាងលើគឺជាជំហានទាំងបីនៃការសម្អាតផ្នែកខាងក្នុងនៃរន្ធបន្ទាប់ពីការខួងនៃបន្ទះបោះពុម្ព rigid-flex ដែលរៀបចំយ៉ាងប្រុងប្រយ័ត្នដោយ Capel ។Capel បានផ្តោតលើបន្ទះសៀគ្វីបោះពុម្ពដែលអាចបត់បែនបានរឹង បន្ទះទន់ បន្ទះរឹង និងការដំឡើង SMT អស់រយៈពេល 15 ឆ្នាំ ហើយបានប្រមូលចំណេះដឹងបច្ចេកទេសជាច្រើននៅក្នុងឧស្សាហកម្មបន្ទះសៀគ្វី។ខ្ញុំសង្ឃឹមថាការចែករំលែកនេះមានប្រយោជន៍ដល់អ្នកទាំងអស់គ្នា។ប្រសិនបើអ្នកមានសំណួរអំពីបន្ទះសៀគ្វីផ្សេងទៀត សូមពិគ្រោះជាមួយក្រុមបច្ចេកទេសឧស្សាហកម្មតុបតែងមុខ Capel របស់យើងដោយផ្ទាល់ ដើម្បីផ្តល់ការគាំទ្រផ្នែកបច្ចេកទេសប្រកបដោយវិជ្ជាជីវៈសម្រាប់គម្រោងរបស់អ្នក។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ថ្ងៃទី ២១ ខែសីហា ឆ្នាំ ២០២៣
ត្រឡប់មកវិញ
